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沈阳科仪亮相国家“十二五”科技创新成就展

沈阳科仪亮相国家“十二五”科技创新成就展
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  “国家‘十二五’科技创新成就展”于6月1号到7号在北京展览馆举办。这次展览以“创新驱动发展,科技引领未来”为主题,对“十二五”期间我国科技创新取得的重要进展进行了全面梳理。

  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司作为承担02专项的代表企业之一参加了展览。

  沈阳科仪展出的是主打产品罗茨干式真空泵。罗茨干式真空泵针对半导体标准工艺特殊要求提供洁净真空环境,设备具备高耐腐蚀、高可靠性、节能、安全的小体积、大抽速等特点,是IC主要工艺设备中的核心附属设备,等同于设备的心脏,如果真空干泵无法正常运行,设备便无法有效地进行生产。该设备的成功研制增强了国产真空获得设备的配套能力,降低了国产化半导体工艺的核心零部件的采购成本,促进国产化半导体产品具备产业化能力及市场竞争力。




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